中国空气洁净工程的研究和应用开始于20世纪50年代末,第一个洁净室于1965年在电子工厂建成投入使用,同一时期我国的高效空气过滤器(HEPA)研制成功投入生产。20世纪60年代是我国洁净技术发展的起步时期,在高效过滤器研制成功后,相继以HEPA为终端过滤的几家半导体集成电路工厂、航空陀螺仪厂、单晶硅厂和精密机械加工企业的洁净室建成。在此期间,还研制生产了光电式气溶胶浊度计,用以检测空气中尘埃粒子浓度;建成了高效过滤器钠焰试验台,这样便为发展我国空气洁净工程提供了基本的条件。
从20世纪70年代末开始,我国洁净技术随着各行各业引进技术和设备的兴起得到了长足进步。1981年无隔板高效空气过滤器和液槽密封装置通过鉴定并投入生产,随后0.1pm高效空气过滤器研制成功,为满足超大规模集成电路的研制和生产创造了有利条件。20世纪80年代我国空气洁净工程和洁净厂房建设取得了明显的成果,在建设大规模集成电路工厂、研究所、彩色显像管工厂以及制药工厂洁净厂房的同时,建成了一批100级(5级)、1000级(6级)的洁净室,如500平方的100级(5级)垂直单向流洁净室、1080平方的100级(5级)垂直单向流洁净室、100级(5级)水平单向流手术室等,这批洁净工程的相继建成并投入使用,标志着我国的洁净技术发展进入了一个新的阶段。
空气洁净工程的应用范围:
洁净技术经历了半个多世纪的发展,其应用范围越来越广泛,技术要求也越来越复杂。目前,它的代表性应用领域为微电子工业、医药卫生及食品工业等。它的应用领域主要有:
1)微电子工业。
2)半导体制造业。
3)微机械加工业。
4)光学工业。
5)净纯化学试剂制造业。
6)生物技术工业。
7)制药工业。
8)医疗器械与移植装置的生产与包装工业。
9)食品与饮料工业。
10)医院及其他保健机构。
1.微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求最高的行业。大规模和超大规模集成电路(LSI、VLS1)的发展,对微尘控制要求越来越高。集成电路制造工艺中,集成度越大,图形尺寸(以线宽为代表)越细,对洁净室控制粒径的尺寸也要求越小(通常为线宽的1/10),且含尘量也要求越低。此外,现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样有洁净度的要求。
2.医疗工业
(1)药品生产 我国的《药品生产管理规范》(又称GMP)已在全国范围内实施,对相应工艺过程及生产环境提出了不同洁净级别的要求。对于原料药制备、粉剂、针剂、片剂、大输液的生产、灌装等工艺,均已制定了洁净区和控制区的洁净标准。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外,对生物粒子(细菌数)也有明确的限制。
(2)医院 白血病的治疗室、烧伤病房、外科手术室,也必须根据具体条件采用空气洁净工程,以防止空气中细菌感染,对治疗环境起到控制作用。
3.食品工业
食品工业中使用洁净技术较有代表性的是无菌装罐。食品的无菌包装(如软包装鲜果汁、牛乳等),在保持食品色、香、味、营养等方面大大优于高温杀菌的罐装食品。所谓无菌包装,就是在洁净环境中完成包装工艺。除无菌罐装外,空气洁净工程在食品的酿造、发酵中对纯种的培养、分离、接种、扩种以防止菌体等污染及提高产品质量也有重要作用。
4.生物安全
在遗传工程、药品及病理检验、生物分子学、国防科研等方面常常需要在无菌无尘的环境中进行操作,一方面要要求试件不受其他微生物污染,另一方面又要求所研究的材料,如肿瘤病毒、高危险度病原菌、放射性物质等不致外溢,危害操作者的健康及污染环境。对于这类实验操作,一般要求两级隔离,第一级常用生物安全工作柜使工作人员与病原体等危险试件隔离;第二级是将实验工作区与其他环境隔离。这类实验室与一般洁净室不同,其处于负压状态。
5.实验动物饲养
为了保证医药品、食品长期试验的安全性,以及病理等方面研究结果的可靠性,要求实验动物在洁净环境中饲育。从控制微生物的角度出发,可将医学及生物学等实验所用的实验动物饲育环境分为三类:隔离系统、半隔离系统和开放系统。前两类系统所饲养动物要求无菌(包括细菌、病毒寄生虫等),或者仅允许带有已知的几种微生物,或者不允许带有某些特定的致病菌等。
空气洁净工程也广泛应用于宇航、精密机械、仪器仪表、精细化学等行业中。